Fabrication of Three-Dimensional Microvalves of Internal Nested Structures Inside Fused Silica

Nested structures inside the hard material play a pivotal role in the microfluidics systems, such as the microvalve and the micropump. In this article, we demonstrate a novel and facile method of fabricating nested structures inside the fused silica with a two-step process femtosecond laser wet etch...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Chao Shan, Qing Yang, Hao Bian, Xun Hou, Feng Chen
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	MDPI AG 2021-01-01
Շարք:	Micromachines
Խորագրեր:	microvalve femtosecond laser microfluidic microstructure fabrication
Առցանց հասանելիություն:	https://www.mdpi.com/2072-666X/12/1/43
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!