Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 μm. La implementación se hizo con el proceso de d...

Descripció completa

Dades bibliogràfiques

Autors principals:	Jhon Jairo Realpe, Gilberto Bolaños-Pantoja, Juan Fernando Florez
Format:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicat:	Universidad Nacional de Colombia 2018-04-01
Col·lecció:	Dyna
Matèries:	diseño de productos fotolitografía microdispositivo películas delgadas
Accés en línia:	https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/68837
Etiquetes:	Afegir etiqueta Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!