Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 μm. La implementación se hizo con el proceso de d...

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Detalhes bibliográficos

Principais autores:	Jhon Jairo Realpe, Gilberto Bolaños-Pantoja, Juan Fernando Florez
Formato:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicado em:	Universidad Nacional de Colombia 2018-04-01
coleção:	Dyna
Assuntos:	diseño de productos fotolitografía microdispositivo películas delgadas
Acesso em linha:	https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/68837
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