A Two-Stage Unet Framework for Sub-Resolution Assist Feature Prediction

Sub-resolution assist feature (SRAF) is a widely used resolution enhancement technology for improving image contrast and the common process window in advanced lithography processes. However, both model-based SRAF and rule-based SRAF methods suffer from challenges of adaptability or high computationa...

Szczegółowa specyfikacja

Opis bibliograficzny

Główni autorzy:	Mu Lin, Le Ma, Lisong Dong, Xu Ma
Format:	Artigo
Język:	Inglês
Wydane:	MDPI AG 2025-11-01
Seria:	Micromachines
Hasła przedmiotowe:	sub-resolution assist feature two-stage Unet adaptive hybrid attention mechanism warm-up cosine annealing algorithm
Dostęp online:	https://www.mdpi.com/2072-666X/16/11/1301
Etykiety:	Dodaj etykietę Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!