Size-Effect-Based Dimension Compensations in Wet Etching for Micromachined Quartz Crystal Microstructures

Microfabrication technology with quartz crystals is gaining importance as the miniaturization of quartz MEMS devices is essential to ensure the development of portable and wearable electronics. However, until now, there have been no reports of dimension compensation for quartz device fabrication. Th...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Yide Dong, Guangbin Dou, Zibiao Wei, Shanshan Ji, Huihui Dai, Kaiqin Tang, Litao Sun
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	MDPI AG 2024-06-01
Loạt:	Micromachines
Những chủ đề:	quartz MEMS wet etching undercut dimension compensation microfabrication
Truy cập trực tuyến:	https://www.mdpi.com/2072-666X/15/6/784
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!