On the Piezoelectric Properties of Zinc Oxide Thin Films Synthesized by Plasma Assisted DC Sputter Deposition

Abstract This work presents a study of piezoelectric zinc oxide (ZnO) thin films deposited by a novel post‐reactive sputtering method. The process utilizes a rotating drum with DC magnetron sputtering deposition onto substrates with subsequent DC plasma‐assisted oxidation of the deposited metal to m...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Michael McKinlay, Lewis Fleming, Manuel Pelayo García, Lucía Nieto Sierra, Pilar Villar Castro, Daniel Araujo, Basilio Javier García, Des Gibson, Carlos García Nuñez
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	Wiley-VCH 2024-11-01
Շարք:	Advanced Materials Interfaces
Խորագրեր:	optoelectronics piezoelectrics plasma physics plasma‐assisted magnetron sputtering, PVD thin film deposition zinc oxide
Առցանց հասանելիություն:	https://doi.org/10.1002/admi.202400252
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!