A miniaturized transit-time ultrasonic flowmeter based on ScAlN piezoelectric micromachined ultrasonic transducers for small-diameter applications

Abstract Transit-time ultrasonic flowmeters (TTUFs) are among the most widely used devices for flow measurements. However, traditional TTUFs are usually based on a bulk piezoelectric transducer, which limits their application in small-diameter channels. In this paper, we developed a miniaturized TTU...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Yunfei Gao, Minkan Chen, Zhipeng Wu, Lei Yao, Zhihao Tong, Songsong Zhang, Yuandong Alex Gu, Liang Lou
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	Nature Publishing Group 2023-04-01
Շարք:	Microsystems & Nanoengineering
Առցանց հասանելիություն:	https://doi.org/10.1038/s41378-023-00518-y
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!