PiezoMEMS Fabrication on Flexible Stainless-Steel Substrates
A bottom-up fabrication approach for flexible piezoelectric micromachined ultrasound transducer (PMUT) arrays on stainless-steel substrates was developed. Devices were fabricated using chemical solution deposition of a 700 nm-thick layer of Pb<sub>0.99</sub>□<sub>0.01</sub>(Zr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0...
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MDPI AG
2026-04-01
|
| Seria: | Sensors |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://www.mdpi.com/1424-8220/26/7/2246 |
| Etykiety: |
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|