PiezoMEMS Fabrication on Flexible Stainless-Steel Substrates
A bottom-up fabrication approach for flexible piezoelectric micromachined ultrasound transducer (PMUT) arrays on stainless-steel substrates was developed. Devices were fabricated using chemical solution deposition of a 700 nm-thick layer of Pb<sub>0.99</sub>□<sub>0.01</sub>(Zr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2026-04-01
|
| Loạt: | Sensors |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/1424-8220/26/7/2246 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|