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Electrostatic Microelectromechanical System Speaker Array with Out-of-Plane Piston Displacement and Simplified Microfabrication

This study presents a new design for a MEMS electrostatic speaker array with out-of-plane piston-like diaphragm displacement using a simplified silicon-on-insulator microfabrication process. The device comprises an array of parallel actuating membranes with small circular mechanically open but acous...

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Principais autores: Diogo E. Aguiam, Inês S. Garcia, Edoardo Sotgiu, Filipe S. Alves
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MDPI AG 2024-03-01
coleção:Proceedings
Assuntos:
microspeaker
MEMS
acoustic impedance
Acesso em linha:https://www.mdpi.com/2504-3900/97/1/101
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