تحميل...
Angled electrode comb drives for enhanced actuator in silicon photonic applications
Abstract This paper presents an in-depth analysis of electrostatic comb drives, specifically focusing on angled finger configurations to optimize performance for high-demand silicon photonic devices. The study contributes to the advancement of optical microsystems, particularly for beam steering con...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Nature Publishing Group
2025-10-01
|
| سلاسل: | Microsystems & Nanoengineering |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://doi.org/10.1038/s41378-025-00906-6 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|