Optimization of Soft X-Ray Fresnel Zone Plate Fabrication Through Joint Electron Beam Lithography and Cryo-Etching Techniques

The ability to manufacture complex 3D structures with nanometer-scale resolution, such as Fresnel Zone Plates (FZPs), is crucial to achieve state-of-the-art control in X-ray sources for use in a diverse range of cutting-edge applications. This study demonstrates a novel approach combining Electron B...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Maha Labani, Vito Clericò, Enrique Diez, Giancarlo Gatti, Mario Amado, Ana Pérez-Rodríguez
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	MDPI AG 2024-11-01
Loạt:	Nanomaterials
Những chủ đề:	electron beam lithography cryogenic etching fresnel zone plates
Truy cập trực tuyến:	https://www.mdpi.com/2079-4991/14/23/1898
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!