Дослідження динамічного діапазону кремнієвих фотодіодів для застосування в оптичній пірометрії
Оптична пірометрія є одним з основних безконтактних методів для прецизійного вимірювання температури напівпровідникових підкладок для технології газофазної епітаксії з металоорганічних сполук (ГФЕ МОС). Вимоги до фотоелементу пірометра обумовлені особливістю процесу. У пірометрі кремнієвий фотодіод...
Salvato in:
| Autori principali: | , |
|---|---|
| Natura: | Artigo |
| Lingua: | Inglês |
| Pubblicazione: |
Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute
2023-12-01
|
| Serie: | Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elc.kpi.ua/article/view/284933 |
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|