Дослідження динамічного діапазону кремнієвих фотодіодів для застосування в оптичній пірометрії
Оптична пірометрія є одним з основних безконтактних методів для прецизійного вимірювання температури напівпровідникових підкладок для технології газофазної епітаксії з металоорганічних сполук (ГФЕ МОС). Вимоги до фотоелементу пірометра обумовлені особливістю процесу. У пірометрі кремнієвий фотодіод...
Na minha lista:
| Principais autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute
2023-12-01
|
| coleção: | Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://elc.kpi.ua/article/view/284933 |
| Tags: |
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|