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Design and Analysis of Lithium–Niobate-Based Laterally Excited Bulk Acoustic Wave Resonator with Pentagon Spiral Electrodes

In this paper, we present a comprehensive study on the propagation and dispersion characteristics of A<sub>1</sub> mode propagating in Z-cut LiNbO<sub>3</sub> membrane. The A<sub>1</sub> mode resonators with pentagon spiral electrodes utilizing Z-cut lithium niobate (LiNbO<sub>3</sub>) thin film are...

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Principais autores: Ying Xie, Wenjuan Liu, Yao Cai, Zhiwei Wen, Tiancheng Luo, Yan Liu, Chengliang Sun
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MDPI AG 2023-02-01
coleção:Micromachines
Assuntos:
XBAR
LiNbO<sub>3</sub> thin film
effective electromechanical coupling coefficient
Acesso em linha:https://www.mdpi.com/2072-666X/14/3/552
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