Optimization of selective laser-induced etching (SLE) for fabrication of 3D glass microfluidic device with multi-layer micro channels

Abstract We present the selective laser-induced etching (SLE) process and design guidelines for the fabrication of three-dimensional (3D) microfluidic channels in a glass. The SLE process consisting of laser direct patterning and wet chemical etching uses different etch rates between the laser modif...

সম্পূর্ণ বিবরণ

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন

প্রধান লেখক:	Sungil Kim, Jeongtae Kim, Yeun-Ho Joung, Sanghoon Ahn, Jiyeon Choi, Chiwan Koo
বিন্যাস:	Artigo
ভাষা:	Inglês
প্রকাশিত:	SpringerOpen 2019-10-01
মালা:	Micro and Nano Systems Letters
বিষয়গুলি:	Glass micromachining 3D laser micromachining Selective laser-induced etching Subtractive manufacturing 3D microchannel Glass microfluidic device
অনলাইন ব্যবহার করুন:	http://link.springer.com/article/10.1186/s40486-019-0094-5
ট্যাগগুলো:	ট্যাগ যুক্ত করুন কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!