Fabrication of Diamond Membranes by Femtosecond Laser Ablation for MEMS Sensor Applications
We present the feasibility in fabricating membranes and cantilevers made of diamond grown on Si/SiO<sub>2</sub> substrates by femtosecond laser ablation. In the ablation process, we generated nano- and microstructures on the membrane surface. Such laser-induced periodic surface structures (LIPSS) ar...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI AG
2020-12-01
|
| سلاسل: | Proceedings |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.mdpi.com/2504-3900/56/1/13 |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|