UV-A Sensor Based on 6H-SiC Schottky Photodiode
In this paper, we propose a UV-A sensor based on a 6H-SiC Schottky photodiode with a thin Ni<sub>2</sub>Si front electrode and an integrated hydrogenated silicon nitride (SiN:H) dielectric filter. 6H-SiC prototypes were fabricated by using a manufacturing process to a large extent already implemente...
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| Principais autores: | , , , , , , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
IEEE
2017-01-01
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| coleção: | IEEE Photonics Journal |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://ieeexplore.ieee.org/document/7814212/ |
| Tags: |
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