High Accuracy MEMS Pressure Sensor Based on Quartz Crystal Resonator
This paper reports a high accuracy oil-filled MEMS absolute pressure sensor based on quartz crystal double-ended tuning fork (DETF) resonator, which is suitable for application in ocean, petroleum, meteorological, aerospace and spacecraft field, etc. The pressure sensing unit is mainly composed of D...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , , , , , , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2017-08-01
|
| মালা: | Proceedings |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.mdpi.com/2504-3900/1/4/379 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|