Fluorination of CVD graphene films by inductively coupled plasma CF4
Synthesis of nanometer-thick dielectric films is one of the key tasks in nano- and optoelectronics, which is associated with growing requirements for miniaturization and functionality of devices. This paper presents the results of a study of optical and electrical properties of graphene fluorinated...
Збережено в:
| Автори: | , |
|---|---|
| Формат: | Artigo |
| Мова: | Russo |
| Опубліковано: |
Tver State University
2025-12-01
|
| Серія: | Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://physchemaspects.ru/2025/doi-10-26456-pcascnn-2025-17-109/?lang=en |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|