Design and Evaluation of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer(CMUT) Linear Array System for Thickness Measurement of Marine Structures Under Varying Environmental Conditions

This paper presents the design, fabrication, and experimental evaluation of a capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) linear array for non-contact thickness measurement of marine engineering structures. A 16-element CMUT array was fabricated using a silicon–silicon wafer bonding proces...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Changde He, Mengke Luo, Hanchi Chai, Hongliang Wang, Guojun Zhang, Renxin Wang, Jiangong Cui, Yuhua Yang, Wendong Zhang, Licheng Jia
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	MDPI AG 2025-07-01
Loạt:	Micromachines
Những chủ đề:	MEMS CMUT array sensitivity time of flight (ToF) thickness detection
Truy cập trực tuyến:	https://www.mdpi.com/2072-666X/16/8/898
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!