Recubrimientos de TiAlN sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF

Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl (60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (PN/PTotal), 0,05 y 0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas...

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Detalles Bibliográficos

Principais autores:	Franz Quesada, Álvaro Mariño
Formato:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicado:	Universidad de Antioquia 2006-01-01
Series:	Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia
Assuntos:	películas de tialn sputtering reactivo r f
Acceso en liña:	http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003711
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