Recubrimientos de TiAlN sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF

Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl (60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (PN/PTotal), 0,05 y 0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas...

Descripció completa

Dades bibliogràfiques

Autors principals:	Franz Quesada, Álvaro Mariño
Format:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicat:	Universidad de Antioquia 2006-01-01
Col·lecció:	Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia
Matèries:	películas de tialn sputtering reactivo r f
Accés en línia:	http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003711
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