Growth of conductive Si-doped α-Ga2O3 by suboxide molecular-beam epitaxy
We report a two-step film-growth process using suboxide molecular-beam epitaxy (S-MBE) that produces Si-doped α-Ga2O3 with record transport properties. The method involves growing a relaxed α-(AlxGa1−x)2O3 buffer layer on m-plane sapphire at a relatively high substrate temperature (Tsub), ∼750 °C, f...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , , , , , , , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
AIP Publishing LLC
2025-10-01
|
| தொடர்: | APL Materials |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://pubs.aip.org/aip/apm/article-pdf/doi/10.1063/5.0299750/20768473/101117_1_5.0299750.pdf |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|
