Diagnostics of low-pressure capacitively coupled RF discharge argon plasma
Low-pressure capacitively coupled RF discharge Ar plasma has been studied using Langmuir probe. The electron temperature, electron density and Debay length were calculated under different pressures and electrode gap. In this work the RF Langmuir probe is designed using 4MHz filter as compensation c...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
University of Baghdad
2019-02-01
|
| Շարք: | Iraqi Journal of Physics |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://ijp.uobaghdad.edu.iq/index.php/physics/article/view/266 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|