Multiple-Degree-of-Freedom Modeling and Simulation for Seismic-Grade Sigma–Delta MEMS Capacitive Accelerometers
The high-order mechanical resonances of the sensing element in a high-vacuum environment can significantly degrade the noise and distortion performance of seismic-grade sigma–delta MEMS capacitive accelerometers. However, the current modeling approach is unable to evaluate the effects of high-order...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2023-06-01
|
| মালা: | Sensors |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.mdpi.com/1424-8220/23/12/5394 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|