Low-Pressure Small MEMS Accelerometer Using Sigma-Delta Modulation
Encapsulation of MEMS accelerometers in vacuum is advantageous, since it allows integration with other sensors, leading to size and cost reduction. One technique to operate MEMS accelerometers in vacuum is the use of closed-loop Sigma-Delta modulation, which has many advantages. In this paper, the d...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2018-11-01
|
| Loạt: | Proceedings |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/2504-3900/2/13/1029 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|