Review of Electrothermal Micromirrors
Electrothermal micromirrors have become an important type of micromirrors due to their large angular scanning range and large linear motion. Typically, electrothermal micromirrors do not have a torsional bar, so they can easily generate linear motion. In this paper, electrothermal micromirrors based...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
MDPI AG
2022-03-01
|
| Շարք: | Micromachines |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://www.mdpi.com/2072-666X/13/3/429 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|