Review of Electrothermal Micromirrors
Electrothermal micromirrors have become an important type of micromirrors due to their large angular scanning range and large linear motion. Typically, electrothermal micromirrors do not have a torsional bar, so they can easily generate linear motion. In this paper, electrothermal micromirrors based...
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| Principais autores: | , , , , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
MDPI AG
2022-03-01
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| coleção: | Micromachines |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.mdpi.com/2072-666X/13/3/429 |
| Tags: |
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