Studi Penumbuhan Grafena pada Temperatur Rendah Menggunakan Metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Dalam penelitian ini, telah dilakukan penumbuhan grafena dengan menggunakan metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (HW-PECVD). Metode ini merupakan metode kombinasi antara metode PECVD konvensional dan metode CVD termal dengan menambahkan elemen hot-wire. Plasma dibangkitkan dengan...
保存先:
| 主要な著者: | , , |
|---|---|
| フォーマット: | Artigo |
| 言語: | Inglês |
| 出版事項: |
Lambung Mangkurat University Press
2024-12-01
|
| シリーズ: | Jurnal Fisika Flux |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://ppjp.ulm.ac.id/journal/index.php/f/article/view/19279 |
| タグ: |
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|