Studi Penumbuhan Grafena pada Temperatur Rendah Menggunakan Metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Dalam penelitian ini, telah dilakukan penumbuhan grafena dengan menggunakan metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (HW-PECVD). Metode ini merupakan metode kombinasi antara metode PECVD konvensional dan metode CVD termal dengan menambahkan elemen hot-wire. Plasma dibangkitkan dengan...
Enregistré dans:
| Auteurs principaux: | , , |
|---|---|
| Format: | Artigo |
| Langue: | Inglês |
| Publié: |
Lambung Mangkurat University Press
2024-12-01
|
| Collection: | Jurnal Fisika Flux |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | https://ppjp.ulm.ac.id/journal/index.php/f/article/view/19279 |
| Tags: |
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|