Impact of Solid Materials in the Gap Space between Driving Electrodes in a MEMS Tri-Electrode Electrostatic Actuator

MEMS electrostatic actuators can suffer from a high control voltage and a limited displacement range, which are made more prevalent by the pull-in effect. This study explores a tri-electrode topology to enable a reduction in the control voltage and explores the effect of various solid materials form...

முழு விளக்கம்

நூற்பட்டியல் விவரங்கள்

முதன்மை ஆசிரியர்கள்:	Mehdi Allameh, Byoungyoul Park, Cyrus Shafai
வடிவம்:	Artigo
மொழி:	Inglês
வெளியிடப்பட்டது:	MDPI AG 2024-04-01
தொடர்:	Sensors
பொருள்கள்:	MEMS electrostatic actuator pull-in effect microwave applications voltage reduction microfabrication
ஆன்லைன் அணுகல்:	https://www.mdpi.com/1424-8220/24/9/2743
குறிச்சொற்கள்:	குறிச்சொல்லை சேர்க்கவும் டாக்‌ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!