Impact of Solid Materials in the Gap Space between Driving Electrodes in a MEMS Tri-Electrode Electrostatic Actuator
MEMS electrostatic actuators can suffer from a high control voltage and a limited displacement range, which are made more prevalent by the pull-in effect. This study explores a tri-electrode topology to enable a reduction in the control voltage and explores the effect of various solid materials form...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2024-04-01
|
| Loạt: | Sensors |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/1424-8220/24/9/2743 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|