An Electrostatic MEMS Roll-Pitch Rotation Rate Sensor with In-Plane Drive Mode

In this paper, we presented a novel electrostatic Roll/Pitch MEMS gyroscope with in-plane drive mode and out-of-plane sense mode. The proposed structure is developed based on a tuning fork gyroscope with decoupled sense mass on each tine that control the sense out-of-plane frequency. A multi-height...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Κύριοι συγγραφείς:	Ahmed Khaled, Ahmed M. Salman, Nawaf S. Aljehani, Ibrahim F. Alzahem, Ridha S. Almikhlafi, Radwan M. Noor, Yasser M. Seddiq, Majed S. Alghamdi, Mostafa Soliman, Mohamed A. E. Mahmoud
Μορφή:	Artigo
Γλώσσα:	Inglês
Έκδοση:	MDPI AG 2022-01-01
Σειρά:	Sensors
Θέματα:	MEMS gyroscope roll-pitch ASIC FEM capacitive
Διαθέσιμο Online:	https://www.mdpi.com/1424-8220/22/3/702
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!