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Rate-Sensing Performance of Imperfect Capacitive Ring-Based MEMS Coriolis Vibrating Gyroscopes at Large Drive Amplitudes

This paper investigates the effect of electrostatic nonlinearity on the rate-sensing performance of imperfect ring-based Coriolis Vibrating Gyroscopes (CVGs) for devices having 8 and 16 evenly distributed electrodes. Mathematical models are developed for CVGs operating in (i) an open loop for a line...

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Principais autores: Davin Arifin, Stewart McWilliam
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MDPI AG 2025-04-01
coleção:Sensors
Assuntos:
Coriolis vibrating gyroscope
electrostatic nonlinearities
electrostatic tuning
force balancing
Acesso em linha:https://www.mdpi.com/1424-8220/25/7/2263
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