A cochlea bio-inspired tunable piezoelectric cantilever array MEMS microphone: comprehensive study

Abstract This study introduces a bio-inspired AlN-piezoelectric MEMS microphone that showcases a cantilever structure offering adjustable performance, fully emulating the dynamics and tunability observed in the basilar membrane of the mammalian cochlea. Through the incorporation of piezoelectric and...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Zhuoyue Zheng, Qingqing Ke, Huahuang Luo, Pan Zhang, Zhiyuan Yan, Chen Wang, Michael Kraft, R. P. Martins, Pui-In Mak, Yuan Wang
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	Nature Publishing Group 2026-03-01
Loạt:	Microsystems & Nanoengineering
Truy cập trực tuyến:	https://doi.org/10.1038/s41378-026-01232-1
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!