MEMS and NEMS systems, devices, and structures /

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Lyshevski, Sergey Edward.
Formato: Livro
Idioma:Inglês
Publicado em: CRC Press, c200
Colecção:Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
Assuntos:
Sistemas microeletromecânicos.
Acesso em linha:https://minerva.ufrj.br/F/?func=direct&doc_number=000825631&local_base=UFR01
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