Caracterización de películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) obtenidas por el método de co-sputtering

Se obtuvieron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por la técnica de deposición física de vapor con radiofrecuencia (RF - 13.56 MHz - magnetron co-sputtering) en gas argón a partir de un blanco compuesto de carbono C (99.9%) y tungsteno W (99.9%) con diferentes concentraciones de W y C....

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Bibliographic Details

Published in:	Superficies y vacío
Main Authors:	L. Yate, J. M. Caicedo, G. Zambrano, J. C. Caicedo, L. Ipaz, J. Muñoz, C. Cortés, P. Prieto
Format:	Artigo
Language:	Espanhol
Published:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2008
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas
Online Access:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94212845005
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