Producción de películas delgadas de TIO2 obtenidas por la técnica de arco catódico
Películas delgadas de Dióxido de Titanio (TiO 2 ) fueron crecidas usando deposición física de vapor a sistida por plasma (DFVAP) en un sistema de arco catódico a par tir de un blanco de Ti. Para la producción de las películas, dentro de la cámara de reacción se ubicaron dos electrodos enfre ntados (...
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| Publicado no: | Scientia Et Technica |
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| Principais autores: | , , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2014
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84930900013 |
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