Producción de películas delgadas de TIO2 obtenidas por la técnica de arco catódico

Películas delgadas de Dióxido de Titanio (TiO 2 ) fueron crecidas usando deposición física de vapor a sistida por plasma (DFVAP) en un sistema de arco catódico a par tir de un blanco de Ti. Para la producción de las películas, dentro de la cámara de reacción se ubicaron dos electrodos enfre ntados (...

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Библиографические подробности

Опубликовано в::	Scientia Et Technica
Главные авторы:	Liliam Cristina Agudelo Morimitsu, Daniel Escobar Rincón, Jhonattan De La Roche Yepes, Elisabeth Restrepo Parra, Pedro José Arango Arango
Формат:	Artigo
Язык:	Espanhol
Опубликовано:	Universidad Tecnológica de Pereira 2014
Предметы:	Ingeniería
Online-ссылка:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84930900013
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