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X-ray reflectivity study of a W/Si multilayer grating

Multilayer gratings are artificially patterned multilyer thin films with the periodicities both in the lateral and normaldirections which renders them attracting for microelectronic and optical applications. A proper structural characterizationis of primary importance. To test the capability of the...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Superficies y vacío
Main Authors: P. Mikulík, I. Kostiè, P. Hudek, C. Falcony, L. Ortega, E. Majková, E. Pineík, Š. Luby, M. Jergel
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2001
Assuntos:
Acesso em linha:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94201303
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