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X-ray reflectivity study of a W/Si multilayer grating
Multilayer gratings are artificially patterned multilyer thin films with the periodicities both in the lateral and normaldirections which renders them attracting for microelectronic and optical applications. A proper structural characterizationis of primary importance. To test the capability of the...
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| Publicado no: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2001
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94201303 |
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