Ładuje się......
Homogeneity optimized layer deposition on large substrates in the molecular beam regime of Knudsen-type effusion sources
Radial beam flux inhomogeneities of Knudsen-type evaporation sources have an adverse effect on the lateralthickness distribution, dopant concentration and mole-fraction uniformity of deposited thin films on wafers, inparticular when the substrate size is of concern. Presently, the common and most su...
Zapisane w:
| Wydane w: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Główni autorzy: | , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2000
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94201108 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|