Microwave plasma steel nitriding using different H2-N2 gas mixtures

We report the plasma parameters of a microwave discharge immersed in a magnetic field (ECR type) studied as a function of the type of gas used to induce the discharge. Plasma diagnostics included a Langmuir probe, an ion energy analyzer and an optical emission spectroscopy system. Results of the dia...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Superficies y vacío
Hlavní autoři:	O. Alvarez Fregoso, M. Villagrán, Enrique Camps, Fernando Becerril, Stephen Muhl
Médium:	Artigo
Jazyk:	Inglês
Vydáno:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 1999
Témata:	Física, Astronomía y Matemáticas
On-line přístup:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94200976
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!