Physical properties of reactive RF sputtered a-IZON thin films
The physical properties of amorphous indium zinc oxynitride (a-IZON) thin films, which were deposited at room temperature by reactive RF magnetron sputtering, were investigated. The results of the investigations indicated that the a-IZON films possessed excellent qualities: high transparency with a...
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| Publicado no: | Revista Mexicana de Física |
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| Principais autores: | , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2019
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57082922005 |
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