Caracterización de capacitores MOS basados en peliculas de oxido de hafnio obtenidas a 150°C
En este trabajo, se describe la fabricaci ́ on y caracterizaci ́ on de capacitores MOS con ́ oxido de hafnio como diel ́ ectrico obtenido a 150 ± C. La obtenci ́ on de pel ́ ıculas delgadas de ́ oxido de hafnio se realiz ́ o mediante spin-coating con un tratamiento t ́ ermico a 150 ± C. Los...
Sábháilte in:
| Foilsithe in: | Revista Mexicana de Física |
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| Príomhchruthaitheoirí: | , , |
| Formáid: | Artigo |
| Teanga: | Espanhol |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2016
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| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57048164016 |
| Clibeanna: |
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