Preparación de películas delgadas del sistema Ti-Al-O mediante rf-sputtering
En el presente trabajo se sintetizaron películas delgadas del sistema Ti-Al-O mediante la técnica rf-sputtering sobre sustratos de vidrio y silicio (Si), usando blancos de compuestos intermetálicos de TiAl y Ti3Al en una cámara con atmósfera de Ar-O2. Las películas de Ti-Al-O fueron obtenidas varian...
Salvato in:
| Pubblicato in: | Revista Mexicana de Física |
|---|---|
| Autori principali: | , , , , , |
| Natura: | Artigo |
| Lingua: | Espanhol |
| Pubblicazione: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2010
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57016006004 |
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|