Modelo del voltaje de descarga en depósitos de ZrO X por erosión iónica reactiva

Se presenta una aplicación del modelo de Berg para el depósito de películas delgadas de ZrO X por la técnica de erosión iónica reactiva. Se propone un tratamiento alternativo de dicho modelo, adaptándolo a un punto de vista ingenieril. El modelo de Berg en su forma original considera el envenenamien...

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מידע ביבליוגרפי

הוצא לאור ב:	Revista Mexicana de Física
Principais autores:	V. García-Gradilla, G. Soto-Herrera, R. Machorro-Mejía, E. Mitrani-Abenchuchan
פורמט:	Artigo
שפה:	Espanhol
יצא לאור:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2009
נושאים:	Física, Astronomía y Matemáticas
גישה מקוונת:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57013231005
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