Modelo del voltaje de descarga en depósitos de ZrO X por erosión iónica reactiva
Se presenta una aplicación del modelo de Berg para el depósito de películas delgadas de ZrO X por la técnica de erosión iónica reactiva. Se propone un tratamiento alternativo de dicho modelo, adaptándolo a un punto de vista ingenieril. El modelo de Berg en su forma original considera el envenenamien...
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| Publicado no: | Revista Mexicana de Física |
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| Principais autores: | , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2009
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57013231005 |
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