¿Podemos conocer el espesor real de las capas delgadas metálicas?
Usando una fuente de evaporación puntual y un sustrato relativamente grande para evaporar capas metálicas, es difícil conseguir un espesor uniforme sobre toda la superficie evaporada. Depositando térmicamente una capa de aluminio con espesor nominal de 100 nm sobre un sustrato de vidrio, se estima e...
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| Publicado no: | Ingeniería |
|---|---|
| Principais autores: | , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Universidad Autónoma de Yucatán
2010
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46715068001 |
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