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¿Podemos conocer el espesor real de las capas delgadas metálicas?

Usando una fuente de evaporación puntual y un sustrato relativamente grande para evaporar capas metálicas, es difícil conseguir un espesor uniforme sobre toda la superficie evaporada. Depositando térmicamente una capa de aluminio con espesor nominal de 100 nm sobre un sustrato de vidrio, se estima e...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Ingeniería
Main Authors: A. I. Oliva, J. M. Lugo-Quintal, H. G. Riveros
Formato: Artigo
Idioma:Espanhol
Publicado em: Universidad Autónoma de Yucatán 2010
Assuntos:
Acesso em linha:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46715068001
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